在时代不断进步的背景下，高精密仪器的使用范围被进一步拓展，为了保证高精密仪器作用可以顺利发挥，相关人员必须加强对高精密仪器平台振动控制的研究，尽可能的降低高精密仪器在使用过程中受到干扰的可能性，这对于高精密仪器精确性的保证有着极为重要的作用。
2、对高精密仪器平台振动控制的相关概述
受多种因素的影响，高精密仪器微振动隔振平台系统在设计过程中所需要考虑 的因素相对较多，一般情况下如果在对 大理石平板系统设计过程中不能够对各种复杂环境进行考虑 ，那么将会直接对高精密仪器平台振动控制效果造成影响。就目前的现象来看，大理石平台对于高精密仪器产生微振动产生干扰的主要为轨道交通车所引起的地面振动以及实验仪器自身所产生的直接干扰。微振动干扰主要是 指地面振动所产生的干扰，墙壁弯曲所产生的干扰以及在实验过程中人员走动所产生的振动影响。在对高精密仪器平台振动控制系统进行设计的过程中必须注重对于各种振动影响的控制，尽可能的保证各种振动都能够处于可控制的范围，这对于高精密仪器作用的发挥有着就为重要的意义。3、对高精密仪器平台振动主控制技术的研究现状和发展分析
振动主动控制技术的种类有所不同，以振动控制原理为划分依据，可以把高精密仪器平台振动主控制技术分为主动控制和被动控制两种，不同的控制形式控制过程也有所差异，和主动控制相比，被动控制的装置结构相对较为简单，其在应用过程中更容易达到控制的目的，目前大理石平台在高精密平台振动控制过程中所采用的被动隔振元件主要以空气弹簧为主。为了使得被振系统隔振效果能够得到提升，在对被振系统进行设计的过程中要尽可能的使得其自振频率能够以降低的状态所存在。但是 在高精密仪器使用过程来看，自振动频率虽然可以得到一定程度的降低，但是 降低的较低权限也不会低于1Hz，这就说明在振动主控制技术改进的过程中，被动隔振系统对微振动的控制效果还是 相对有限的，尤其是 对于 花岗石构件的直接干扰，此系统起到的效果更加低。因此目前应用相对比较广泛的被动隔振系统还不能给满足现代人们 对振动环境的要求，尤其是 产品与结构振动特性方面更不能够得到满足。振动主控制在整个控制过程中所扮演的角 色是 极为重要的，所谓的振动主动控制指的就是 在制动控制的过程中，通过对传感器所收集的系统振动情况以及结果进行收集，以所收集的资料为基准通过控制策略的应用对数据进行实时的计算，从而达到对驱动制动器以及机构施加力或力矩的的目的，力或力矩的增加会使得结构或者系统的振动能够得到控制。
上世纪中叶，振动的主动控制所取得的成果主要有以下三项，首先就是 机翼颤振主动阻尼得到实现，此项成果使得飞机的飞行速度得到一定程度的提升。其次就是 通过对磁浮轴承的利用，使得离子机转子得到控制，这位分离轴同位素分离新工艺的发现有着极为重要的意义。较后一项成果就是 通过对主动控制的应用，使得超低频干扰得到隔离，这对于许多高精度仪器作用的发挥有着极为重要的意义。这一阶段过后，主动振动控制技术开始迈入突破性发展阶段，在上世纪八十年代，主动振动控制技术发展进入了井喷期，大理石平台在这一时期开始用主动控制及时对挠性航天结构的振动进行控制，并对精密设备或者精密设备加工中的振动进行控制。此外在土木工程结构振动以及车辆半主动振动控制方面的研究也有了相对较大的进展。随着自动控制技术以及信息技术的不断发展，振动主控制应用范围被不断的扩展。目前振动主控制的应用领域主要包括以下几个领域中，像飞机飞行和颤振的主动控制、噪声主动控制以及机械工程主动控制等都是 振动主控制应用的领域。和我国相比，对于微振动控制的研究，美国日本等发达国家对其的研究相对较为完善，我国相关人员在对振动主控制进行研究的过程中要加强对先进国家研究进行借鉴。
4、主振动控制中作动器的发展与研究现状
作动器在主振动控制过程中扮演着极为重要的角 色，所谓的作动器又被称为制动器和执行器， 花岗石量具 其在整个控制系统中主要完成对信号进行执行的任务，其通过对调节器控制信号的接受，来对操纵变量进行改变，从而使得整个生产过程能够按照预定的要求的奥执行。一般情况下作动器的组成部分主要有执行结构和调节结构两种，所谓的执行机构就是 在接受调节器控制信号后根据所接收的信号而产生位移或者推力的装置。所谓的调节结构指的就是 以执行机构为输出信号为依据，对能量或者物料输送量的装置区改变，目前应用较广泛的调节机构就是 调节阀。在生产过程中，作动器直接对整个生产质量造成影响，如果相关人员所选用的作动器的类型不符合相关要求，不仅会使得整个生产过程的控制效果受到影响，还会在一定程度上影响控制效率的提升。因此在作动器使用过程中，相关人员要对作动器类型以及安装调试进行关注。目前在主振动控制过程中较常使用的的作动器的类型主要有液动、气动、电磁等作动器。
5、结束语
高精密仪器在我国科研领域以及生产制造领域都扮演着极为重要的角 色，为了较大程度的使得高精密仪器的精确性可以得到提升和保证，大理石平台在高精密仪器使用的过程中必须加以振动控制系统的应用，振动控制措施的采取能够较大程度的降低高精密仪器在使用过程中所受到的振动干扰，这对其作用的发挥是 极为重要的。
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